Furon?UPRM氣動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器

高純壓力調(diào)節(jié)器

基本參數(shù)

Furon UPRM壓力調(diào)節(jié)器由100％高純PFA和PTFE接液部件制成，適用于半導(dǎo)體行業(yè)中常見的超純、刺激性或腐蝕性化學(xué)物質(zhì)，或要求高純度和/或高耐化學(xué)性的任何其他應(yīng)用。經(jīng)過改進(jìn)的PTFE隔離膜片可保護(hù)執(zhí)行器組件不受過程介質(zhì)影響，從而確保不會(huì)受到金屬元素污染。